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            菲尼克斯傳感器半導體氣體傳感器的原理概述

                    菲尼克斯傳感器半導體氣體傳感器是利用氣體在半導體表面的氧化和還原反應導致敏感元件阻值變化而制成的。當半導體器件被加熱到穩定狀態,在氣體接觸半導體表面而被吸附時,被吸附的分子首先在表面物性自由擴散,失去運動能量,一部分分子被蒸發掉,另一部分殘留分子產生熱分解而固定在吸附處(化學吸附)。
             
                     菲尼克斯傳感器半導體氣體傳感器運用中,當半導體的功函數小于吸附分子的親和力(氣體的吸附和滲透特性)時,吸附分子將從器件奪得電子而變成負離子吸附,半導體表面呈現電荷層。例如氧氣等具有負離子吸附傾向的氣體被稱為氧化型氣體或電子接收性氣體。如果半導體的功函數大于吸附分子的離解能,吸附分子將向器件釋放出電子,而形成正離子吸附。具有正離子吸附傾向的氣體有H2、CO、碳氫化合物和醇類,它們被稱為還原型氣體或電子供給性氣體。
             
             

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